一、機組配置

（1）300升風冷複合分子（zǐ）泵1台（tái）。

（2）3升機械泵1台。

（3）40角閥（或25角閥）一套，波紋管1根。

（4）高真空複合真空（kōng）計1套（包（bāo）括（kuò）KF40電離規、KF16熱偶規）。

（5）直徑（jìng）108mm*高（gāo）80mm 測試罩1套。

（6）帶腳輪、圍（wéi）板的小車1套。

二（èr）、機組外形（xíng）圖

三、機組外形尺寸圖