一、機組配置

（1）JTFB-600F複（fù）合分子泵1台。

（2）4.3升無油渦旋真空（kōng）泵1台/3升~6旋片式真空泵1台。

（3）KF40手（shǒu）動角閥1套（tào），波紋（wén）管1根。

（4）高真空複合真空計1套（包括KF40電離規、KF16熱偶規）。

（5）直徑180mm*高（gāo）138mm 測（cè）試罩1套。

（6）帶腳輪、圍（wéi）板的小車1套。

二、機組外形圖

三、機組外形尺寸