一、機組配置

(1)JTFB-1200膠圈水冷分子泵1台。

(2)2X-70旋片泵1台。

(3)BSJ150L羅茨（cí）泵1台。

(4)KF25氣動角閥2套。

(5)200擋（dǎng）板閥1套。

(6)高真（zhēn）空複合真空計1套（tào）。（包括KF40電離規（guī）、KF16熱偶規）

(7)波紋（wén）管3根。

(8)帶腳輪、圍（wéi）板的機架1套。

(9)PLC控（kòng）製係統（tǒng）1套。

(10)工作電壓：380V

二、機組外形圖

三、機組外（wài）形（xíng）尺（chǐ）寸